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uscita:
Periodico/Rivista: *Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures
Altri Titoli :Journal of vacuum science & technology., International journal devoted to microelectronics and nanometer structures; Microelectronics and nanometer structures; Journal of vacuum science and technology., Microelectronics and nanometer structures; JVST B
Ente/Autore (Marc 710): American Vacuum Society; American Institute of Physics
EditorePublished for the Society by the American Institute of Physics
Luogo pubbl.New York
Da anno - Ad anno1991-2010
LinguaENG
PeriodicitàBIMESTRALE: 6,7, o 8 numeri l'anno
PaeseUS
ISSN:1071-1023
ISSN-L:1071-1023
Dewey:621.381/05
Cod. CNR:P 00232448
FonteACNP
Supporto: Printed text
Accesso Pubblico alla rivista:
http://ieeexplore.ieee.org/servlet/opac?punumber=4915583
http://scitation.aip.org/jvstb
Titoli collegati:
GIA':*Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena
HA PER ALTRO SUPPORTO:*Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures (Online)
POI:*Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics (Print)
Posseduto cumulativo:1991-2010.
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